MC-CWDT80 系列白光共聚焦位移传感器(nm精度)

  Confocal whitelight Displacement transducer

白光共焦位移传感器是非接触位移传感器中最高精度的产品。测量分辨率最高8nm,测量精度最高35nm。并且可以用于透明目标的距离和厚度测量。


工作原理:

     白光共焦位移传感器发射一束白光,经过光笔上的棱镜,生成沿着Z轴连续的不同颜色的单色光,其中一个特定波长的单色聚焦在物体表面,这束单色通过针孔滤波光谱仪反射回传感器,并分析这束光的波长,从而计算目标所在的位置。




控制器(Controller)型号参数:


控制器

MC-CWDT80-LT

MC-CWDT80-STD

MC-CWDT80-UNHAL

MC-CWDT80-UNLED

测量频率

100~2000Hz

100~2000Hz

30~1000Hz

30~1000Hz

多通道

1通道

1/2/4通道

1/2/4通道

1/2/4通道

光源

白色LED

白色LED

钨卤素光源

白色LED

测量模式

位移/厚度

数字量输出

30bits分辨率

30bits分辨率

15bits分辨率

15bits分辨率

模拟量输出

N

0~10V(16bits)

0~10V(16bits)

0~10V(16bits)

I/O接口

RS232&USB

RS232&USB

RS232

RS232

I/O同步接口

输入输出TTL同步

电源

100~240VAC/25w

24VDC/20w

85~240VAC/100w

85~240VAC/25w

工作温度

5~40




储存温度

-30~70

重量

1.92Kg

1.4Kg

3.4Kg

3.4Kg

尺寸(mm

199*123.5*277

168*138*120

316*96*235

316*96*235




ML系列测量头(measurer)型号参数:


型号

MC-CWDT80-ML130

MC-CWDT80-ML400

MC-CWDT80-ML1400

MC-CWDT80-ML4000

MC-CWDT80-ML12000

MC-CWDT80-ML24000

测量范围(um

130

400

1400

4000

12000

24000

工作距离(mm

3.3

11

12.7

16.4

29

22

物体最大倾斜度

±42.5°

±28°

±25°

±21°

±14°

±8.5°

放大镜模块

L210/L140

L210 L140 L70

L140 L70

L35 L20

L35 L20

L35 L20

光斑尺寸(um

19/28

2.3 3.4 6.9

4 8

8 14

14 24.5

16 28

长(mm

1 131/790

243.3 208.9 176.1

205.9 176.1

145.5 131.7

145.5 131.7

167.6 151.8

直径(mm

27

重量(g

1 73/195

248 190 189

215 214

155 140

175 160

195 180

轴向分辨率

无平均(nm

8

22

60

130

400

780

10次平均(nm

2.7

8

20

50

180

300

精度(nm

35

80

200

300

800

1500

最小可测粗糙度

12

30

90

170

600

1100

最小可测厚度

7.5  / 9 

14 14 22

38 40

110 120

350 550

590/725

最大可测厚度

175

510

2000

5700

165000

34000


MA系列测量头(measurer)型号参数:

型号

MC-CWDT80-MA300

MC-CWDT80-MA6000

MC-CWDT80-MA8000

MC-CWDT80-MA10000

MC-CWDT80-MA24000

MC-CWDT80-MA42000

测量范围(um)

300

6000

8000

10000

24000

42000

工作距离(mm)

5

28.8

37.2

66.9

223

518

最大倾斜度deg

±25°

±22°

±16°

±12°

±5°

±2.5°

轴向分辨率

Standard

径向模式

Optional

No

No

Optional

Optional

No

光斑尺寸

8

12.5

34

51

100

110

位移测量性能

轴向分辨率(nm)

10

250

400

450

1500

4000

精度(nm)

90

600

800

900

3000

40000

最小可测厚度(um)

25

200

300

425

1570

2500



MO系列测量头(measurer)型号参数:

型号

MC-CWDT80-MO100

MC-CWDT80-MO300-L

1.2MC-CWDT80-MO1200

1.2/9MC-CWDT80-MO1200-L0

1.5MC-CWDT80-MO1500

MC-CWDT80-MO1500-L

测量范围(um)

100

300

1200

1200

1500

1500

工作距离(mm)

1.1

0.8

2.3

0.4

2.1

0.5

最小可测半径(mm)

-

3.8

-

3.4

-

3.5

位移模式轴向分辨率(um)

0.02

-

0.1

0.15

0.1

-

位移模式精度(um)

0.05

-

0.2

0.25

0.2

-

最大倾斜度deg

±24°

±10°

±13°

±11°

±13°

±10°

光斑尺寸(mm)

6.2

6

15

15

7.1

20

横向分辨率(um)

3.1

3

7.5

7.5

3.5

10

长度(mm)

58.9

69.8

75.2

82

100.6

90

重量(g)

10

-

10

10

12

12

直径(mm)

6

6

6

6

6

6

测量方向

轴向

径向

轴向

径向

轴向

径向

配件选项:

线缆长度:2m10m可选。

线缆直径:50um(标准)或20um

线缆类型:标准型和金属外壳保护型。

程序:一个用于接收结果并且可以设置参数的程序




产品简述:

产品详情: